解理

斜切角对β-Ga2O3(100)面衬底加工的影响研究

年月日发(作者：是什么文件)第卷第期年月人工晶体学报..,斜切角对-()面衬底加工的影响研究李信儒,侯童,马旭,王佩,李阳,穆文祥,贾志泰,,陶绪堂(.山东大学,新一代半导体材料研究院,晶体材料国家重点实验室,济南;.山东工业技术研究院,济

衬底表面解理斜切抛光

admin 5月前

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