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2024年3月20日发(作者：微服务框架排名)
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产业·公司
Industry & Company
解密光刻机巨头ASML的崛起之路
《中国经济周刊》记者 周琦 | 北京—荷兰连线报道
视觉中国
华
为、芯片、断供……一系列
科技学院董事总经理瑞尼·雷吉梅克
事件，把一家以前只有少数
历经7年采访整理出的《光刻巨人：
业内人士才熟悉的ASML（阿斯麦）
ASML的崛起之路》一书，揭开了
推向前台。
ASML秘密的一角。
上世纪80年代，ASML只是
在接受《中国经济周刊》记者采
飞利浦旗下的一家小公司。如今，
访时，雷吉梅克表示，中国可能需要很
ASML不仅将昔日的光刻机大国美国、
长时间才能制造出晶圆步进器。但中国
日本拉下神坛，还垄断了全球7nm及
拥有足够的资金和知识储备，一旦拥有
以下工艺的EUV光刻机技术。
设备，就可以启动先进晶圆工厂项目。
ASML如何实现一路反超？为
何如今只有它拥有先进的光刻机技
两位“贵人”助其反超
术？ ASML的成功能否被复制？荷兰
1月20日,ASML公布2020年
Techwatch媒体公司CEO、荷兰高
全年财报。2020全年，ASML销售额
139.8亿欧元（约合人民币1098亿元），
累计交付258台光刻系统——以此计
算，平均一台光刻机的价格超过4亿
元人民币（编者注：含安装管理费用）。
其中，中国大陆市场超过美国
市场成为第三大市场，销售额增长约
72％。在258台系统中，中国大陆占
比为18%。也就是说，中国大陆2020
年获得了约46台ASML光刻系统。
不过，据《中国经济周刊》记者
了解，中国大陆获得的光刻系统中，
并没有最先进的EUV（极紫外光）光
刻机，而是DUV（深紫外光）光刻机。
EUV光刻技术相比DUV更加
精准。据环球网报道，虽然DUV光
刻机是目前大量应用的光刻机，但是
7nm已经是DUV光刻的极限，所以
Intel、三星、台积电等企业在7nm这
个节点引入了EUV光刻技术。
诞生于2015年的EUV，是
ASML 10年磨一剑的产品。而在之后
的5年时间里，面对ASML的EUV
优势，尼康节节败退，失去了50%以
上的光刻机市场份额。如今的尼康已
经放弃了对EUV的研发，在光刻机市
场苦苦支撑。
据雷吉梅克介绍，ASML之所以
能成为世界上唯一可以生产EUV光刻
中国经济周刊
CHINA ECONOMIC WEEKLY
2021.2.28
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机的公司，离不开台积电和英特尔两
位“贵人”的支持。
作为ASML遇到的第一个“贵
人”。台积电在技术、人才、资金方
面给了ASML很大帮助。凭借台积电
的“浸入式光刻技术”方案，ASML
将光源波长一举从193nm缩短到
132nm。此后，ASML快速蚕食光刻
机市场份额。
第二个“贵人”英特尔，则是帮
助ASML把尼康、佳能两大光刻机巨
头“踢出局”的重要推手。
1997年，英特尔和美国能源部
牵头组建EUV LLC前沿技术组织，
集成了通信巨头摩托罗拉、芯片巨头
AMD、劳伦斯-利弗莫尔国家实验室
等众多顶级单位。
ASML被允许加入EUV LLC，
此后顺风顺水一飞冲天，而尼康、佳
能却被排除在外，失去了未来的门票。
雷吉梅克介绍，享受EUV LLC
的研究成果大大加快了ASML的
EUV研发速度,但也因签订了一些协
议，使得美国拥有光刻机出口话语权。
捆绑客户，形成利益集团
除了“贵人”之外，ASML的崛
起，也有其自身优势。“ASML会倾
听客户的意见，让先进技术快速迭代，
获得客户青睐。” 雷吉梅克说。
例如，上文提到让ASML超越尼
康的“浸入式光刻技术”，就是倾听了
客户台积电的意见。
当时，整个光刻机领域在193nm
向157nm波长进军时遇阻，尼康等公
司主张在前代技术基础上走稳健道路。
台积电的林本坚则想出了利用水
改变光折射率的“沉浸式光刻”方案，
将193nm的激光经过折射后直接跨越
157nm，降低到了132nm。
但是，林本坚跑遍美国、德国、
日本等国游说各家半导体巨头，均告
失败。而ASML则和他一拍即合，仅
用一年时间就制作出了第一台样机，
不仅拿下台积电的订单，还获得了
IBM等大客户。
雷吉梅克还透露，此前，尽管尼
康的光刻机比ASML的机器更可靠，
但三星认为，尼康非常傲慢，不听取
他们的意见。当三星联系ASML时，
ASML听取了三星的意见。“一开始，
由于三星的意见之一是对ASML的机
器做一些改变，对于在过去只有一种
批次、一种类型光刻机的ASML来说，
他们并不想接受。但当三星表示他们
将购买大量的光刻机时，ASML便开
始改变策略。不仅仅是上世纪90年代，
即使现在看来，上百台机器都是一个
巨大的订购数量。”
雷吉梅克说，蚕食掉市场份额时，
ASML并没有像竞争对手那样傲慢
和无视，而是希望倾听客户意见，将
技术不断打磨升级。“ASML第一任
CEO 贾特上任后第一件事，就是去询
问客户真正需要的是什么。现任CTO
马丁也非常了解客户的心理和需求。”
ASML构建的“客户同盟”，也
在其面临困境时给予了巨大帮助。为
解决资金困境，2012年ASML提出“客
户联合投资计划”，客户入股可以保证
最先拿到最新设备。
从ASML的股东构成看，既有资
本国际集团、贝莱德集团等投资管理
企业，也有IBM、三星、海力士、台
积电等客户。可以说，大半个半导体
行业，都是ASML的合作伙伴，从而
形成了庞大的利益集团。
这不仅可以帮助ASML稳固其行
业垄断地位，也提高了行业壁垒。
政府补助不是绝对必要因素？
ASML的崛起，也离不开运气成分。
在尼康“点错科技树”之前，世
界光刻机的领导者是美国公司GCA。
雷吉梅克回忆，1984—1986年的
经济衰退，导致市场领导者GCA退出
行业竞争。这家公司一度几乎破产，
由于美国将其技术纳入国家战略，才
得以继续存活。
GCA、尼康的“不幸”遭遇，使
得ASML一路成为光刻领域的领导者。
其实，ASML在成立之时，发展
得并不顺利。得益于政府部门的补贴，
才坚持下来。
“通过欧洲基金和荷兰政府早期的
补贴，ASML获得了大量资金。飞利
浦等在前3年向其投资了1.32亿荷兰
盾。”雷吉梅克认为，尽管ASML一
直处于政府支持状态，但也有中国企
业不需要政府补助，也能独立生存下
来，因此，这并不意味着更多企业应
该效仿ASML的崛起之路。
“在某种程度上说，政府补助是件
好事。政府有能力提供资金，确保在
竞争中有充分的弹药支持，这是提高
竞争力的重要因素之一。但同时，我
不认为这是一个绝对必要的因素。”雷
吉梅克说，对于这项具有战略意义的
技术，即便一个国家不惜亏损地投入，
也并不意味着一定能发展出一家龙头
企业，“甚至美国都没有做到这一点。”
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