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2024年12月27日发(作者：帝国cms信息模板)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：SUBSTRATE SUPPORT MEMBER, SUBSTRATE

RETENTION MECHANISM USING THE SAME,

SUBSTRATE CONVEYANCE APPARATUS AND

METHOD THEREFOR, AND SUBSTRATE

TREATMENT APPARATUS AND METHOD

THEREFOR

发明人：FUJII KENJI,藤井 健二,ASA SEKIBUN,麻 籍

文,HAYAMA RYUICHI,半山 竜一,FURUMURA

TOMOYUKI,古村 智之

申请号：JP特願2001-118578(P2001-118578)

申请日：20010417

公开号：JP特開2002-313874(P2002-313874A)A

公开日：20021025

专利附图：

摘要：Array

申请人：DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD,大日本スクリーン製造株式会社

地址：京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1

国籍：JP

代理人：川崎 実夫 (外2名)

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本文标签： 信息 专利 知识产权

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