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2024年12月27日发(作者：函数row怎么用)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：SHEET-RESISTANCE MEASUREMENT OF FILM

发明人：JIYAIMU NARUMAN,ジャイム ナルマン

申请号：JP特願平7-259108

申请日：19951005

公开号：JP特開平8-226943A

公开日：19960903

专利附图：

摘要：PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate the possibility of measurement error

and substrate damage caused by manual measuring system. SOLUTION: While a

semiconductor substrate 24 is held in a vacuum environment of a semiconductor

processing unit 14, the sheet resistivity of an electric conductive film on the substrate 24

is measured. The conductive film is piled up on the substrate 24 within a vacuum chamber

and a resistance probe 36 is placed in the same chamber. The probe 36 is withdrawn from

a passage while the substrate is piled up, and after piling is stopped and completed, the

probe 24 is moved toward the substrate 24 so as to measure the resistance of the film.

申请人：APPLIED MATERIALS INC,アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

地址：アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95054 サンタ クララ バウアーズ アベニュー 3050

国籍：US

代理人：長谷川 芳樹 (外3名)

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本文标签： 专利 谷川 知识产权 出版社 内容

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