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2024年4月23日发(作者：clonenode会回流吗)

四氟化碳特气钢瓶更换标准作业指导书

1 目的

指导四氟化碳气瓶钢瓶更换，提高预防性维护，确保设备处于24小时供气

运行状态，降低非计划停机时间，特制定本规范。

2 范围

适用于特气间氧气GR气瓶架。

3 参考文件

无

4 定义

无

5 职责

5.1 生产技术员

负责特气间日常点检和异常上报；

5.2 生产主管

督促生产技术员按照设备工程师要求完成设备相关工作；

5.3 工艺工程师

负责制定维护工作完成后的工艺验证标准与验证标准作业指导书。

5.4 设备工程师

5.4.1负责更新操作要求和标准作业指导书。

5.4.2负责特气间日常运行操作过程中出现的问题的解决和维护管理以及操

作培训等工作。

5.4.3负责气体的具体使用与管理，负责更换气体钢瓶。

6 资历与训练

操作人员需熟悉特气系统结构及工作原理，且经过设备工程师培训考核通过

后,方能进行操作，

7 作业内容

7.1设备日常点检（生产技术员执行）

7.1.1 O2钢瓶压力空瓶警报(标准：＞ 100psi) 《 惰性气体巡检记录表》

7.1.2每日点检CF4气柜运行情况，是否存在报警，是否有空瓶指示提醒，

记录当前使用钢瓶压力值。有任何异常及时反馈设备工程师。

7.2 设备巡检（每日设备工程师执行）

7.2.1每日负责巡检技术员点检确认，查看点检是否有漏检漏填等漏洞，

并在点检表上做确认签字；负责更换CF4氧气钢瓶气瓶。

CF4氧气管道图：

系统工作描述：当HPSG（L）压力<100Psi时（由GSDS系统设定），系统自动

关闭LPI（L）左侧阀门，并打开LPI（R）右侧阀门，此时显示“A侧空瓶指示”

灯亮；反之，“B侧空瓶指示”灯亮。

7.3 氧气CF4瓶

7.3.1更换四氟化碳CF4流程


本文标签： 设备 点检 负责

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